Minijaturne mjerne ćelije su precizni uređaji za{0}}mjerno mjerenje sile razvijeni na osnovu tehnologije mikroelektromehaničkih sistema (MEMS). Pripadajući kategoriji mikroelektromehaničkih uređaja, njihov osnovni tehnološki iskorak leži u optimizaciji poluvodičkih piezorezistivnih senzorskih elemenata na nanoskali.
Minijaturne ćelije opterećenja prvenstveno postižu mjerenje generiranjem električnih signala kroz mehaničku deformaciju minijaturne dijafragme. Osnovna komponenta koristi MEMS mjerač deformacije. Ovi senzori se mogu minijaturizirati na nekoliko milimetara i težiti samo nekoliko grama. Tehnologija kompozitnog pakovanja koristi silikonsku-metalnu dvoslojnu strukturu-, pružajući zaštitu od vlage i prašine dok kontroliše temperaturni pomak unutar ±0,005%/ stepen.
Minijaturne ćelije za opterećenje obuhvataju dva glavna tipa: minijaturne senzore pritiska i minijaturne akcelerometre. Mogu se integrirati u pametne nosive uređaje (kao što su funkcije praćenja težine u pametnim satovima), potrošačku elektroniku (kao što su tipke osjetljive na pritisak-na pametnim telefonima), industrijsku proizvodnu liniju za vaganje, mjerenje pakovanja, određivanje proporcija materijala i medicinsku opremu (kao što su sistemi povratne sprege zglobne sile u hirurškim robotima), proširujući granice primjene ćelija za opterećenje.
